微波光氧催化利用氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有較強的氧化作用。工業廢氣輸入到凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束和臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。微波產生的輻射能夠增加催化劑TiO2表面載荷子的數量從而形成了更多的缺陷位，這種的最終結果就是阻礙了電子空穴對的復合，從而延長了載荷子的壽命提高了催化劑對紫外光的吸收效率，產生更多OH-氧化分解廢氣分子鏈。 微波光氧催化設備技術特點：
1.安全性穩定性：微波燈管由微波驅動發光，無燃燒爆炸、導線腐蝕松動等隱患，這是普通UV光解燈管無法達到的；
2.燈管使用壽命：普通UV光解燈管使用壽命約3000-5000小時，微波燈管的使用壽命可達50000小時，有效保證處理效果的持續穩定性；
3.清洗的便捷性：普通UV光解燈管必須由人工清洗，微波燈管可以用機器清洗；
4.能耗低：普通UV燈管每只150瓦，微波燈管每只能耗約60瓦；
5.高效性：微波光催化因為有微波能的助力，其催化反應效率明顯比普通UV光解效率高30-50%。
6.處理效果持續穩定：長效燈管使用壽命+清洗的便捷性+微波能的催化作用，保證了處理效果的持續穩定性
